高温传感器

SiA200 MEMS加速度传感器

MEMS加速度传感器

  1 用途

  SiA200是一种的电容体的MEMS加速度计,专为惯性应用设计。长期稳定性好,标度因数重复性,低运行偏差,振动整流误差以及低噪音等方面具备明显优势。内部集成了信号调理、模拟±2.7V输出、内置自检电路和一个温度传感器方便用户进行补偿。能够为战术级测量需求提供有效可靠的支撑。

  2 产品特点(±30g)

  l 运行偏差稳定性:45μg

  l 极好的长期零偏重复性:3.6mg

  l 非线性度:±0.3%FS

  l 严苛环境下具备极高可靠性

  l LCC20,气密封装

  3 产品应用

  【航空航天】惯性测量单元IMU、航空电子、姿态控制、武器发射系统、平台稳定系统、GPS辅助制导、无人机导航系统、短程制导、机器人技术等

  【海基陆基】寻北、声纳定位、ROV制导、武器发射系统、船舶航海和控制、单兵手持机地图、载具定位等

  【地质勘探】LWD、MWD、钻井导向、盾构机等

  4 性能图谱(SiA210测试记录)

A. 偏值温度性能曲线(测试条件:-40℃~85℃,0.5℃/min,全温范围)

 

B. 标度因数温度性能曲线(测试条件:-40℃~85℃,0.5℃/min,全温范围)

 

  C. 带宽内噪声性能曲线(测试条件:-4KHz采样率,采样时间超10秒钟,采用FFT做噪声计算,传感器为0g位置)

  

  D. 零偏稳定性性能曲线(测试条件:室温,上电测试时间8小时)

  

  E. 非线性度性能曲线(测试条件:室温,离心台上测量)

  

  F. 频率响应性能曲线(测试条件:T°C环境下,振动台上测量)

  

  G. 振动整流误差性能曲线(测试条件:室温,振动台测试,频率50Hz~2KHz扫频,振幅50%量程)

  5 设计注意事项

  l 传感器的周围尽量不要有如按键之类会产生机械震动及应力的元器件;

  l 周围6mm 之内的区域最好留空;

  l 焊接到到PCB 板上时,不可避免地会使传感器的方向和PCB 板的方向有一个很小的角度差,这会导致当PCB 仅绕某一个轴旋转时,在另两个轴的方向上也产生运动感应;



 


性能参数
参数  |  型号 单位 SiA202 SiA205 SiA210 SiA215 SiA220 SiA230 SiA250
量程 g ±2 ±5 ±10 ±15 ±20 ±30 ±50
偏值 mg 0.14 0.35 0.7 1.05 1.4 2.1 3.5
偏值重复性 mg 0.24 0.6 1.2 1.8 2.4 3.6 6
偏值稳定性 μg 3 7.5 15 22.5 30 45 75
标度因数 mV/g 1350 540 270 180 135 90 54
标度因数重复性 ppm 400
标度因数稳定性 ppm 120
失准角 mrad 10
阈值(1Hz) μg rms 7 17 34 51 68 102 170
非线性(IEEE ) % FS 0.3
工作温度 -40~125
功耗 mW 10
尺寸 mm2 9×9
 
 
绝对最大额定值

参数 条件 单位 最小值 最大值
供电电压   V -0.3 +3.9
任何PIN电压   V -0.3 VDD+0.3
操作温度   -40 125
储存温度   -55 125
振动 随机 g   20
冲击 单次冲击/0.2ms/6方向 g   1500
ESD 应力 HBM模式 kV -1 1

典型应用参数(SiA202、SiA210)
SiA202 | 参数 备注 单位 最小值   典型值 最大值
量程   g ±2    
非线性 IEEE Norm , %全量程 %   0.3 1.0
频率响应 -3dB Hz 200    
谐振频率 过阻尼 kHz   1.4  
振动整流误差 均值频率 [50Hz , 2kHz] µg/g2   1300  
噪声 频带内 µg/√Hz   7  
分辨率 @1Hz µg rms   7  
启动响应时间 工作延时运动一次 µs   40  
偏值(K0)温度系数 测定范围[-40℃, 85℃] µg/℃   75  
综合偏值(K0)误差 温度范围[-40℃, 85℃] mg   0.14  
标度因数(K1)温度系数 测定范围[-40℃, 85℃] ppm/℃ 20 120 220
综合标度因数(K1) 温度范围[-40℃, 85℃] mV/g 1330 1350 1370
温度传感输出电压@20℃   V 1.20 1.23 1.26
温度传感灵敏度   mV/℃   -4.0  
复位阈值电压 低电平有效 %VDD     20
工作电压   V 3.2 3.3 3.4
工作电流   mA   2.3 4
 
 
SiA210 | 参数 备注 单位 最小值   典型值 最大值
量程   g ±10    
非线性 IEEE Norm , %全量程 %   0.3 1.0
频率响应 -3dB Hz 200    
谐振频率 过阻尼 kHz   3.7  
振动整流误差 均值频率 [50Hz , 2kHz] µg/g2   290  
噪声 频带内 µg/√Hz   34  
分辨率 @1Hz µg rms   34  
启动响应时间 工作延时运动一次 µs   40  
偏值(K0)温度系数 测定范围[-40℃, 85℃] µg/℃   375  
综合偏值(K0)误差 温度范围[-40℃, 85℃] mg   0.7  
标度因数(K1)温度系数 测定范围[-40℃, 85℃] ppm/℃ 20 120 220
综合标度因数(K1) 温度范围[-40℃, 85℃] mV/g 266 270 274
温度传感输出电压@20℃   V 1.20 1.23 1.26
温度传感灵敏度   mV/℃   -4.0  
复位阈值电压 低电平有效 %VDD     20
工作电压   V 3.2 3.3 3.4
工作电流   mA   2.3 4
 

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